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使用熱壓真空燒結爐時(shí)的異常情況應急方法

  • 更新日期:2020-05-27      瀏覽次數:1947
    •    熱壓真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進(jìn)行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結。是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
       
        使用熱壓真空燒結爐時(shí)的異常情況應急方法:
        冷卻水異常
        1、確認加熱電源已停止。
        2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來(lái)。
        3、冷卻水發(fā)生異常時(shí),設備處于停止狀態(tài),馬上接通緊急用冷卻水。
        4、在高溫(超過(guò)200℃即視為高溫)時(shí),如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
       
        壓縮空氣的停止
        1、壓縮空氣異常報警時(shí),設備處于停止狀態(tài),應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。
        2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長(cháng)時(shí)間時(shí),則終止真空,讓設備停下來(lái)。
       
        突然停電
        1、停電時(shí),如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。
        2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復時(shí),重新啟動(dòng)設備,繼續運轉如需要較長(cháng)時(shí)間,則將設備保持原狀。
        3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復時(shí),重新啟動(dòng)設備,如果需要較長(cháng)時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設備自然冷卻下來(lái)。
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