熱壓真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進(jìn)行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結。是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
使用熱壓真空燒結爐時(shí)的異常情況應急方法：
冷卻水異常
1、確認加熱電源已停止。
2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來(lái)。
3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設備處于停止狀態(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫（超過(guò)200℃即視為高溫）時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
壓縮空氣的停止
1、壓縮空氣異常報警時(shí)，設備處于停止狀態(tài)，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。
2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長(cháng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設備停下來(lái)。
突然停電
1、停電時(shí)，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復時(shí)，重新啟動(dòng)設備，繼續運轉如需要較長(cháng)時(shí)間，則將設備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復時(shí)，重新啟動(dòng)設備，如果需要較長(cháng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來(lái)。
