真空鉬絲爐的結構組成如下:
1、爐體:雙層304不銹鋼水冷結構,精密拋光,有利于縮短抽氣時(shí)間,且便于清潔;
2、爐蓋:雙層水冷的結構,內外壁均為304并經(jīng)精密拋光處理,中間通冷卻水。爐蓋上裝有多鏡觀(guān)察窗、爐蓋打開(kāi)機構等;
3、加熱保溫:加熱室采用圓筒形加熱室結構,多層屏采用迷宮式隔熱結構,能夠有效保證保溫效果。發(fā)熱體為優(yōu)質(zhì)高溫鉬絲,均布在圓周方向上,以實(shí)現良好的溫度均勻性。保溫層采用高溫耐熱鉬和高溫不銹鋼,做反射屏,這樣能夠保證氣氛純凈以及保溫性能。
4、真空系統:由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表(±Pa)波紋管、真空管路和支架等組成。
5、充氣裝置:主要由充氣閥、流量計、充氣管道等組成,用于燒結工藝所需充氬氣、氮氣的氣氛要求;
6、水冷系統:水冷系統由進(jìn)水管、回水管、電接點(diǎn)壓力表、閥門(mén)、管路等組成,當水壓低時(shí),自動(dòng)進(jìn)行聲光報警,并自動(dòng)切斷加熱電源功能,以確保設備安全
7、控制系統:由可編程控制器PLC、溫控儀、真空計、電壓電流表、直流穩壓電源、空開(kāi)、接觸器、繼電器、按鈕、指示燈等組成,以實(shí)現供電、控制、記錄、監視、報警保護功能。
8、測量裝置:鎢錸熱電偶對設備的溫區進(jìn)行溫度測量,實(shí)現工作過(guò)程的實(shí)時(shí)監控,并保證了在加溫、保溫過(guò)程中路室內溫度的均勻性。也可以配合使用光學(xué)測溫或紅外輻射溫度計通過(guò)視察窗測量溫度。