鉬帶真空熱壓燒結爐

鉬帶真空熱壓燒結爐   設備主要技術(shù)參數

1 電源電壓：AC380V±10%   50Hz  三相五線(xiàn)制

2 使用溫度：≤1300℃

3 設計溫度：1500℃

4 工作區尺寸：φ100*100mm

5 加熱區尺寸：φ150x200mm

6 加熱區：一區

7 控溫精度：±1℃

8 工作區均溫性：≤±5℃

9 功率：≤20KW

10 冷態(tài)極限真空度：6.67*10-3Pa（空爐、冷態(tài)、烘烤除氣后）

11 壓升率：≤5Pa/h

12 充氣氣氛：氬氣或其他惰性氣體

13 充氣壓力（微正壓）：≤0.015MPa

14 壓力：≤5T 底部液壓加壓（數顯、自動(dòng)調壓、自動(dòng)保壓、伺服電動(dòng)）

15 壓頭直徑：Ф85mm

16 壓力波動(dòng)：≤±100N，位移精度:0.01mm

17 壓力行程：0～100mm（數顯）

18 壓力控制：伺服電動(dòng)缸加載

19 溫度控制與測量：一控兩測，上中下三點(diǎn)分布（S型熱電偶）

20 壓頭材質(zhì)：熱室外水冷不銹鋼+熱室內為高強石墨壓塊

鉬帶真空熱壓燒結爐   設備的組成和結構

  該設備由爐體、加熱隔熱系統、真空系統、伺服電動(dòng)缸加壓系統、充放氣系統、水冷系統、控制系統等幾部分組成。

1 爐門(mén)

爐門(mén)采用雙層不銹鋼（SUS304）水夾層法蘭結構，與法蘭組焊成一個(gè)整體。其中內壁拋光，外壁拉絲處理。爐門(mén)上設有冷卻水進(jìn)出接口、觀(guān)察窗，爐門(mén)鎖緊裝置等。門(mén)鎖緊采用手輪壓緊的方式，可保證設備在微正壓下工作。

2 爐體

爐體采用雙層不銹鋼（SUS304）水冷結構，爐體上下分別組焊有上下壓頭安裝座。正面法蘭平面上開(kāi)設有燕尾型密封槽，采用O型硅橡膠密封圈密封。爐內壁拋光，外壁拉絲處理。爐體側面設有冷卻水進(jìn)出口、真空抽氣口、熱電偶安裝口，電極安裝座等。

3 龍門(mén)架

龍門(mén)架由上、下橫梁、雙立柱、箱體等組成，作為上下壓頭支座及爐體支撐。

4 加熱及隔熱系統

加熱采用優(yōu)質(zhì)鉬絲/帶作發(fā)熱體，前后兩側分布，產(chǎn)品受熱均勻。隔熱采用多層金屬反射屏，內層為多層鉬反射屏，外層為SUS304反射屏，保溫效果好，耐沖擊性好。整個(gè)隔熱屏采用金屬框架固定，便于安裝與維護。溫度控制采用一支S型熱電偶，同時(shí)在主控溫的上下位置（工作區內）布置兩個(gè)監測熱電偶，用于監測溫場(chǎng)的溫度。提高設備的安全使用性能

5 真空系統

真空系統采用二級泵配置，由一臺TK-200擴散泵，一臺TRP-36直連泵、高真空閥、充氣閥、放氣閥、真空壓力表、真空測量規管等組成，真空管道與泵的聯(lián)接采用金屬波紋管減緩震動(dòng)，真空度的測量由數顯復合真空計執行。