簡(jiǎn)要描述:出口型小型真空感應定向凝固爐采用步進(jìn)伺服電機+精密線(xiàn)性模組方式,電機升降系統密封均采用焊接波紋管密封,安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結構,上面有一坩堝托盤(pán),用來(lái)放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機控制采用PLC+觸摸屏方式,速度位移按照工藝要求任意設定,保證其行走速度的穩定性和位置的準確性。用于定向凝固做晶體生長(cháng)使用
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
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應用領(lǐng)域 | 能源,電子,冶金,航天,綜合 |
一·出口型小型真空感應定向凝固爐設備用途:
出口型小型真空感應定向凝固爐主要包括兩種功能,即可用于材料的熔化提純,也可用于材料的定向凝固。
二·出口型小型真空感應定向凝固爐設備特點(diǎn):
本設備采用立式底部升降結構,一體化設計,結構緊湊,裝卸料方便,真空爐體采用石英管
三·小型真空感應定向凝固爐主要技術(shù)參數
1.加熱溫度: 1600℃
2.常用溫度: 1400℃
3.功率: 15Kw±10%
3.冷態(tài)極限真空度: ≤5Pa
4.坩堝尺寸: Ф30×200mm(直徑×高 )
5.測溫系統: 紅外儀控溫測溫
6.加熱方式: 高頻感應加熱
7.坩堝材質(zhì):石英坩堝
8.坩堝護套:氮化硼+石英陶瓷保溫套
9.坩堝升降速度:位移行程 250mm(步進(jìn)電機控制)
10·爐內充氣壓力: ≤0.03MPa
11·充氣系統: 自動(dòng)充放氣
四、結構組成及說(shuō)明
1、石英真空腔室
2、爐底及升降裝料機構
3、感應加熱系統及
4、真空系統
5、控制系統
6、冷卻水分配系統
三、小型真空感應定向凝固爐結構說(shuō)明
1、石英真空腔室:真空密封腔室,采用石英管上下配水冷密封法蘭的方式,采用徑向密封的方式,上下法蘭采用水冷密封法蘭,保證密封性,同時(shí)也保證密封圈的受熱溫度在常溫。爐蓋水冷法蘭配有真空壓力表,真空抽氣接口,觀(guān)察窗,熱偶測溫裝置以及放氣閥、安全閥等裝置。一體化設計,外形整潔美觀(guān)。
2、爐底及坩堝升降機構:爐底水冷法蘭與石英管腔室采用“O”圈真空密封,
坩堝升降機構:采用步進(jìn)伺服電機+精密線(xiàn)性模組方式,電機升降系統密封均采用焊接波紋管密封,安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結構,上面有一坩堝托盤(pán),用來(lái)放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機控制采用PLC+觸摸屏方式,速度位移按照工藝要求任意設定,保證其行走速度的穩定性和位置的準確性。用于定向凝固做晶體生長(cháng)使用。
4、感應加熱系統:設備加熱采用感應加熱的方式,有一高頻感應電源配合感應線(xiàn)圈及線(xiàn)圈升降裝置、坩堝及保溫套組成加熱系統。采用感應線(xiàn)圈不動(dòng),內部坩堝升降移動(dòng)的方式,來(lái)實(shí)現材料晶體的熔融及定向凝固??梢杂脕?lái)做小量材料晶體的生長(cháng)制備實(shí)驗。測溫采用紅外實(shí)時(shí)測溫,坩堝底部可預留熱偶測溫裝置,實(shí)時(shí)顯示坩堝溫度。
5、真空系統:由一臺機械泵配真空閥門(mén)、充氣閥、放氣閥組成真空系統。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接(減緩震動(dòng)),真空測量選用具有數字顯示功能的真空計執行。
6、控制系統:采用PLC+觸摸屏的方式 ,所有的動(dòng)作都有PLC來(lái)完成,安全可靠。功能強大,操作方便,具有超溫,上線(xiàn)限控制聲光報警功能??刂乒衩姘迳显O有液晶觸模屏,可設定長(cháng)晶速度、位移等,界面清晰直觀(guān),數據可記錄,查詢(xún),導出,曲線(xiàn)數據,歷史數據可實(shí)時(shí)顯示,可實(shí)時(shí)觀(guān)測直觀(guān)各部件的工作狀態(tài),實(shí)時(shí)記錄工況。
7、水冷分配系統:由循環(huán)水機及主管道、分管路、水閥、壓力報警等相關(guān)裝置組成,具有斷水聲光報警及自動(dòng)切斷電源等功能。
五、成套供應范圍
1. 高真空腔室 1套
2. 伺服升降裝置 1套
3. BN坩堝(護套) 1套
4. 熱電偶 1支
5. 控制系統(plc+觸摸屏系統) 1套
6.產(chǎn)品說(shuō)明書(shū),合格證 1份
7.循環(huán)冷水機:1P 1臺
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