真空碳管爐是一種通過(guò)燒結使粉末壓坯獲得所需物理力學(xué)性能和微觀(guān)結構的設備。燒結爐用于干燥硅片上的漿料，去除漿料中的有機成分，完成鋁背場(chǎng)和柵線(xiàn)燒結。為了確保粉末壓坯燒結過(guò)程中脫蠟(潤滑劑或成型劑)、還原、合金化、結構轉變等的順利進(jìn)行，燒結過(guò)程中需要控制燒結溫度、保護氣氛、壓坯運輸方式、加熱和冷卻速度等。
真空碳管爐的操作使用方法如下：
一、熔爐操作
1、檢查冷卻水是否接通；
2、接通氣源，調節流量，切換到氫氣保護加熱爐；
3、調整紅外測溫探頭的位置，使其與測溫孔對齊；
4、按下控制柜的逆變器操作按鈕，逆變器通電運行，按下逆變器停機按鈕，逆變器停機；
5、按下碳管爐頭上的推船操作按鈕，減速器和電磁離合器通電，螺旋槳開(kāi)始工作。當電動(dòng)推桿運行到右行程開(kāi)關(guān)時(shí)，電磁離合器斷電，推艇完成；如果電磁離合器無(wú)法斷開(kāi)，左行駛開(kāi)關(guān)將斷開(kāi)推船電機的電源。
二、電氣操作
1、檢查電氣接線(xiàn)圖是否正確；
2、電位計逆時(shí)針旋轉至零；
3、打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)；
4、檢查輸入電壓是否正常；
5、轉動(dòng)移相觸發(fā)器上的電源開(kāi)關(guān)，按下操作按鈕，慢慢轉動(dòng)旋鈕，開(kāi)始加熱；
6、關(guān)閉溫控儀電源開(kāi)關(guān)，檢查手動(dòng)溫升；
7、當手動(dòng)將溫度升高到一定值時(shí)，電位計將順時(shí)針旋轉至零，然后將手動(dòng)按鈕旋轉至自動(dòng)。電位器將緩慢瞬時(shí)轉動(dòng)，使電流和電壓達到一定值，然后可實(shí)現自動(dòng)升溫；
8、溫控儀表的操作必須嚴格遵守儀表操作手冊。
